图书介绍
微机电系统与微细加工技术【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

- 朱荻,云乃彰,汪炜等编 著
- 出版社: 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社
- ISBN:9787811332384
- 出版时间:2008
- 标注页数:227页
- 文件大小:27MB
- 文件页数:236页
- 主题词:微电机-系统;特种加工-技术
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图书目录
1绪论1
微机电系统与微型化1
微型化的基础——微细制造4
2微机电系统组成原理及设计8
微机电系统的组成和工作原理8
微尺度理论基础37
计算机辅助设计57
习题74
3微细加工技术75
硅微细加工75
LIGA技术83
微细电火花加工92
微细电铸99
微细电解加工107
微细高能束流加工115
习题124
4微机电系统的检测125
MEMS器件的几何量测量125
力学性能测试140
习题153
5微机电系统的应用154
微机电系统的军事应用154
微机电系统在民用工业中的应用191
习题223
参考文献225
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