半导体制造系统调度【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

半导体制造系统调度PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 概述3

1.1 制造系统自动化3

1.1.1 制造系统的演变3

第1篇 基础篇3

1.1.2 制造系统的集成管理——生产管理自动化系统4

1.2 制造系统中的计划、调度与控制6

1.2.1 生产计划6

1.2.2 生产调度6

1.2.3 生产控制7

1.3 制造系统的调度问题7

1.4 半导体制造系统的调度问题9

1.3.1 作业车间调度9

1.3.2 流水车间调度9

第2章 半导体制造系统及其调度11

2.1 半导体制造产业的战略意义11

2.2 半导体制造工艺简介12

2.2.1 氧化13

2.2.2 淀积15

2.2.3 离子注入15

2.2.4 金属化16

2.2.5 光刻17

2.2.6 刻蚀18

2.2.7 化学机械平坦化19

2.2.8 清洗19

2.2.9 硅片测试19

2.2.10 装配与封装20

2.3 半导体制造系统的高度复杂性21

2.3.1 工艺流程复杂21

2.3.2 多重入加工流程21

2.3.3 多种类型产品同时加工23

2.3.4 混合加工模式23

2.3.5 顺序相关的设备整定时间23

2.3.6 不确定性24

2.4 半导体制造系统的性能指标25

2.5 半导体制造系统调度27

2.5.1 半导体生产线调度问题的特点27

2.5.2 半导体制造系统调度的资源28

2.5.3 半导体制造系统调度的约束29

2.5.4 半导体制造系统调度的目标30

2.6 半导体制造系统调度分类31

2.6.1 基于调度类型的半导体制造系统调度分类31

2.6.2 基于调度环境和任务的半导体制造系统调度分类32

第3章 半导体制造系统调度的建模方法36

3.1 概述36

3.2.1 Kelly网模型37

3.2 传统建模方法37

3.2.2 Markov模型38

3.2.3 基于流平衡方程的静态模型39

3.3 Petri网模型40

3.3.1 Petri网理论基础40

3.3.2 面向设备群的分层Petri网模型40

3.3.3 Petri网建模举例43

3.4 预测模型45

3.5 群体智能模型46

3.5.1 群体智能理论46

3.5.2 基于群体智能的半导体制造系统调度模型47

3.6 基于Agent的半导体制造系统集成调度模型48

第4章 半导体制造系统调度方法54

4.1 运筹学54

4.1.1 数学规划54

4.1.2 排队论58

4.2 启发式规则60

4.2.1 基于交货期的启发式规则60

4.2.2 基于加工周期的启发式规则61

4.2.3 基于工件等待时间的启发式规则61

4.2.4 基于负载均衡的启发式规则61

4.2.5 混合启发式规则62

4.3.1 基于实例推理63

4.3 人工智能方法63

4.3.2 专家系统65

4.3.3 人工神经网络66

4.3.4 模糊逻辑67

4.3.5 多智能体系统70

4.4 计算智能72

4.4.1 禁忌搜索算法72

4.4.2 模拟退火算法75

4.4.3 遗传算法78

4.4.4 人工免疫算法84

4.5.1 蚁群优化算法86

4.5 群体智能86

4.5.2 信息素算法91

4.5.3 微粒群优化算法94

第2篇 方法篇101

第5章 半导体制造系统中的投料控制101

5.1 概述101

5.2 粗日投料策略102

5.3 细日投料策略111

5.3.1 开环投料策略111

5.3.2 闭环投料策略112

5.3.3 举例118

第6章 半导体制造系统中的工件调度120

6.1 概述120

6.2.1 基于数学规划的工件排程121

6.2 基于数学规划的工件调度121

6.2.2 基于数学规划的工件分派122

6.3 基于启发式规则的工件调度123

6.3.1 多目标优化动态分派规则123

6.3.2 复合优先级调度规则126

6.4 基于人工智能的工件调度129

6.5 基于遗传算法的工件调度132

6.5.1 基于混合流水车间编码方法的遗传算法的工件排程132

6.5.2 基于单亲遗传算法的工件排程135

第7章 半导体制造系统中的批加工设备调度142

7.1 概述142

7.2.1 基于启发式规则的单台批加工设备调度143

7.2 单台批加工设备调度143

7.2.2 基于动态规划的单台批加工设备调度144

7.3 并行批加工设备调度146

7.4 带有批加工设备的半导体生产线动态调度149

7.4.1 最小加工批量规则149

7.4.2 批加工设备调度规则149

第8章 半导体制造系统中的设备维护调度155

8.1 概述155

8.2 半导体制造过程设备维护调度策略的分类155

8.3 基于系统仿真的设备维护调度157

8.4 基于数学规划的设备维护调度158

8.5 基于模糊逻辑的设备维护调度161

第9章 半导体制造系统中的重调度165

9.1 概述165

9.2 重调度体系结构166

9.3 重调度因素167

9.4 重调度策略168

9.5 重调度方法169

9.5.1 局部修正式重调度方法169

9.5.2 基于群体智能的全局修正式重调度方法175

9.6 重调度性能评价178

10.1.1 模型构成183

10.1 HP24模型介绍183

第10章 基于HP24模型的调度算法实现与分析183

第3篇 应用篇183

10.1.2 产品工艺流程184

10.2 仿真模型实现184

10.3 投料及调度算法的仿真实现187

10.3.1 投料算法的实现187

10.3.2 调度算法的实现189

10.4 仿真运行结果分析与比较193

10.4.1 指标分析193

10.4.2 仿真结果记录194

10.4.3 仿真结果比较194

11.2 模型介绍200

第11章 基于MiniFab模型的批加工设备调度算法实现与分析200

11.1 概述200

11.3 批加工设备调度算法仿真实现201

11.3.1 生产线调度对象建立202

11.3.2 工件加工步骤202

11.3.3 设备的加工方式203

11.3.4 设备加工时间203

11.3.5 设备故障间隔时间与修复时间204

11.3.6 批加工设备调度算法的编程实现205

11.3.7 仿真运行结果208

12.1.1 生产线物理模型210

12.1 半导体生产线描述210

第12章 基于SIMUL8的半导体生产线调度系统设计与实现210

12.1.2 产品种类211

12.1.3 生产方式211

12.1.4 工艺流程与标准加工步骤211

12.1.5 车间层控制系统SFC_1212

12.2 开发半导体生产线调度与仿真系统TB-PSS的总体思路213

12.2.1 总体目标213

12.2.2 调度系统功能模块简介214

12.2.3 调度系统架构215

12.3 硅片加工生产线建模解决方案简介216

12.3.1 功能区划分216

12.3.2 薄膜加工区建模分析217

12.3.3 利用SIMUL8对薄膜加工区建模219

12.4 TB-PSS调度算法库的解决方案219

12.4.1 TB-PSS调度算法库中包括的算法219

12.4.2 调度算法库实现的基本原理220

12.4.3 调度算法库实现的静态结构222

12.4.4 调度算法库运行时的语境对象223

12.5 TB-PSS系统功能与业务流程224

12.5.1 TB-PSS功能简介225

12.5.2 TB-PSS业务流程228

A.1.1 科学研究中的仿真技术233

A.1 离散事件系统建模及仿真技术233

附录A 仿真建模技术与仿真建模软件SIMUL8简介233

附录233

A.1.2 仿真方法与分析方法234

A.1.3 仿真建模与仿真建模软件234

A.2 仿真软件SIMUL8235

A.2.1 SIMUL8仿真原理235

A.2.2 SIMUL8界面和基本功能236

A.2.3 SIMUL8建模的基本构造对象单元239

A.2.4 SIMUL8的建模方法241

A.2.5 SIMUL8的编程语言Visual Logic242

A.2.6 运用SIMUL8建模仿真的技巧集243

附录B 专业词语汇总表245