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第1章　静电基本概念1

1.1 静电的定义与不同类型的电1

1.1.1 静电具有的特点1

1.1.2　不同类型的电1

1.1.3 几种常见的静电物理量纲及换算2

1.2　静电的产生2

1.2.1 固体起电2

1.2.2　粉体起电5

1.2.3　液体起电6

1.3　静电场7

1.3.1 电场强度7

1.3.2　静电电压7

1.3.3 静电电位8

1.4　静电屏蔽、导静电、静电耗散、静电绝缘材料的划分8

1.4.1 导静电和静电屏蔽材料8

1.4.2　静电耗散材料8

1.5　摩擦分离起电的极性排列与难起静电材料（抗静电材料）9

1.4.3　静电绝缘材料9

1.6　静电感应与静电屏蔽10

1.6.1 静电感应10

1.6.2　静电屏蔽11

1.6.3　法拉第筒（笼）13

第2章 电子工业中的静电问题15

2.1 静电效应与静电对微电子制造业的危害16

2.1.1 静电效应16

2.1.2　静电对微电子制造业的危害形式17

2.2　静电放电敏感器件（SSD或ESDS器件）19

2.2.1　器件ESD损伤失效模式19

2.2.2 SSD的分级23

2.3 电子工业静电损害事例及统计26

2.3.1 电子器件损失统计26

2.3.2 典型事例27

2.4 电子生产、使用环境中的静电源与静电防护场所28

2.4.1 人体静电与人体用品29

2.4.4 各类工作表面、工具（包括气动工具、吸锡器等）32

2.4.5 装配、清洗、试验和修理过程32

2.4.3 各种包装容器、物流传递用品和传输带（线）32

2.4.2 树脂、浸漆封装表面32

2.4.6 各种绝缘地面33

2.4.7 生产、装联、焊接、检验、高低温处理等设备33

2.4.8 接地系统和电源33

2.4.9 生产、存储环境中的绝缘物和对地绝缘的导体34

2.4.10 环境电磁场34

2.4.11 有静电防护要求的场所34

3.1.1 静电耗散及泄漏一般要求35

3.1 静电耗散及泄漏35

第3章 静电防护原理35

3.1.2 耗散与接地的特殊情况37

3.1.3 防静电材料（装备）使用中的安全问题37

3.2 静电中和38

3.3 静电屏蔽与接地39

3.4 环境增湿40

3.5 电子产品ESD的防护设计40

3.5.1 SSD ESD保护电路的设置40

3.5.2 电子设备的ESD防护45

4.1.1 EPA定义和总体技术要求47

第4章 防静电工作区（EPA）的构成和技术要求47

4.1 EPA的构成47

4.1.2 EPA硬件组成和要求48

4.1.3 软件与管理方面要求49

4.1.4 在EPA内防静电用品、装联生产设备、特殊装备（车辆、航空器）的要求50

4.1.5 EPA环境要求70

4.2 EPA内的接地与防雷76

4.2.1 安全保护接地76

4.2.2 工作接地77

4.2.3 重复接地78

4.2.4 中性点、零点和中性线、零线79

4.2.5 屏蔽接地80

4.2.6 直流接地80

4.2.7 信号接地80

4.2.8 防静电接地80

4.2.9 EPA防雷接地与防雷设计80

4.2.10 EPA防静电接地及与其他接地的关系89

第5章 EPA的防静电工艺与质量管理95

5.1 EPA的防静电工艺及要求95

5.1.1 SSD的进厂检验101

5.1.2 SSD的运输、存储、保管102

5.1.3 配、收、发、领、退料中的要求103

5.1.4 预处理过程中的要求104

5.1.5 印制电路板装插、焊接过程中的要求104

5.1.6 印制电路板测试检验过程中的要求105

5.1.7 印制电路板中间处理过程中的要求106

5.1.8 试运转、观察及老炼过程中的要求106

5.2.1 静电分析107

5.2 EPA的质量管理与企业ESD防护培训107

5.1.9 包装的静电防护工艺要求107

5.2.2 SSD的静电防护性能设计108

5.2.3 EPA的管理要求108

5.2.4 防静电工程设计和管理109

5.2.5 企业职工对ESD的培训与考核111

第6章 EPA防静电系统的检验112

6.1 电阻的测试与电阻率的计算113

6.1.1 电阻和电阻率的定义113

6.1.2 电阻测试原理114

6.1.3 测试电极117

6.1.4 电阻测试与表面、体积电阻率计算120

6.1.5 电阻测试时的注意事项123

6.2 静电电压衰减时间的测试125

6.2.1 静电电压衰减时间（期）的定义125

6.2.2 静电电压衰减时间测试原理125

6.2.3 静电电压衰减期时间测试注意事项127

6.3 静电屏蔽性能的检测127

6.3.1 检测仪器和测试原理128

6.3.2 测试注意事项129

6.4 摩擦起电电压与EPA系统静电电位（电压）测试130

6.4.1 EPA系统静电电位（电压）测试130

6.4.2 摩擦起电电压测试136

6.5 静电电量测试与计算141

6.5.1 测试要求141

6.5.2 静电电量计算142

6.6 各类防静电产品（材料）、工程的测试和时效检验143

6.6.1 腕带143

6.6.3 防静电鞋电阻的测试144

6.6.2 EPA人体综合电阻测试144

6.6.4 手套（指套）、帽、袜、鞋束、工具（刷）、气动工具的电阻测试145

6.6.5 防静电工作服的测试146

6.6.6 集成电路防静电包装管的测试147

6.6.7 柔韧性包装类（包括发泡垫、海绵类）的测试147

6.6.8 周转容器、盒的测试147

6.6.9 窗帘的测试147

6.6.12 坐椅、工作台、运转车电阻的测试148

6.6.11 防静电液、蜡表面电阻的测试148

6.6.10 墙面静电泄漏电阻的测试148

6.6.13 地面、地垫的测试149

6.6.14 离子静电消除器消除静电性能的测试方法150

6.6.15 传输带系统电阻的测试153

6.6.16 吸锡器、电烙铁电阻的测试153

6.6.17 防静电产品和工程的时效检验153

第7章 静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试155

7.1 静电放电模型与ESD敏感度测试155

7.1.1 人体模型（HBM）155

7.1.2 机器模型（MM）158

7.1.3 带电器件模型（CDM）160

7.1.4 带电电路板模型164

7.1.5 人体—金属ESD模拟器164

7.1.6 家具ESD模型166

7.1.7 几种广泛应用的ESD模型的对比166

7.1.8 设备的ESD试验167

7.2 静电放电模拟器简介170

7.2.1 ESD模拟器的放电方式170

7.2.2 常用ESD模拟器介绍172

7.2.3 放电试验注意事项174

附录A 本书专业名词英文缩写176

附录B GB/T15463—95静电安全名词术语177

附录C IEC61340—5—1《静电场中电子器件的防护——“一般要求”》表194

附录D 《静电放电控制程序》前言与静电放电协会标准196

附录E JGB1649—93《电子产品防静电控制大纲》之附录A 静电放电敏感度分级试验（补充件）215

附录F 常用物理量纲表222

附录G 国内外部分防静电标准及相关标准目录224

附录H 静电防护指南习题集229

参考文献249